Różnica między powłoką rozpylaną a powłoką próżniową w firmie szklarskiej
Aug 10, 2024
Zostaw wiadomość
W odróżnieniu od odparowywania próżniowego, rozpylanie polega na zderzeniu jonów o wysokiej energii z materiałem docelowym, w wyniku czego powstają atomy, cząsteczki i jony, tworząc w ten sposób warstwę na podłożu.
Ta metoda obróbki jest najczęściej stosowaną metodą w naszej fabryce szklanych butelek w popularyzacji i industrializacji produkcji. Zjawisko rozpylania jest odkrywane przez Grove'a A1 na katodzie na powierzchni lampy wyładowczej.
Wysokoenergetyczne jony (lub jony neutralne) i materiały docelowe powodują zderzenie sprężyste, powierzchnia docelowa jonów pochłania ten pęd, a następnie dochodzi do dalszego zderzenia z otaczającymi jonami, w wyniku czego od powierzchni docelowej odcinane są atomy połączone z wiązaniem między powierzchnią atomu, co powoduje rozpylanie.
Wszystkie rodzaje efektów wywołanych przez rozpylanie są skuteczne w przypadku dwukrotnej emisji elektronów, rozpylania szklanej katody (target), rozkładu analitycznego gazu, ogrzewania katody, rozprzestrzeniania się jardów w układzie, zmiany sieci i implantacji jonów. W porównaniu z liczbą padających cząstek dodatnich, R staje się współczynnikiem emisji dwóch elektronów szklanej butelki, a jego wartość zależy od właściwości materiału docelowego, masy jonu dodatniego, potencjału jonizacji i wielkości pędu dwóch elektronów.
Gdy energia cząstki dodatniej osiąga dziesiątki do setek elektronowoltów wartość R w szkle wynosi kilka 1% lub kilka dziesiątych.
Gdy dodatni jon zderza się z celem, nagrzewa się i 75% jego energii zamienia się w ciepło, więc materiał docelowy musi zostać schłodzony, aby mógł się rozłożyć lub nawet rozpuścić. Ogólnie rzecz biorąc, energia pary próżniowej ze źródła parowania, aby wylecieć z atomu w fabryce szkła, wynosi 0.1ev, w materiale docelowym rozpryskuje się energia atomowa niż źródło parowania próżniowego, aby wylecieć z energii atomowej do dużego rzędu wielkości 1~2, około 5~10ev, każda jednostka czasu ma wartość szybkości rozpylania r,r, a gęstość padających dodatnich jonów i wartość współczynnika rozpylania są proporcjonalne do produktu.

